Исследователи из Беркли придумали, как продлить жизнь оптической литографии
29th Октябрь 2008
Используемые сегодня технологии производства полупроводниковых микросхем подобрались к нормам 32 нм, что считается пределом оптической литографии и делает неизбежным переход к другим технологиям. Между тем, в лабораториях университета Калифорнии в Беркли исследователи, похоже, нашли способ продлить жизнь оптической литографии еще на какое-то время. Кроме того, университетская разработка может проложить путь к оптическим носителям, существенно превышающим по объему Blu-ray.
В первом приближении установку, используемую учеными, можно сравнить с тонармом винилового проигрывателя или походим по назначению узлом винчестера. На конце «руки» находится крошечная оптическая система, в буквальном смысле, летящая над поверхностью полупроводниковой пластины.
Основной разработки стало явление, известное, как затухающие волны. Оно возникает, когда электроны металлов начинают вибрировать под воздействием света. Указанные вибрации меньше, чем длина волны света, что, теоретически, позволяет концентрировать свет в участках размерами 5-10 нм.
Пока на пластине удается сформировать элементы шириной 80 нм, но, по словам ученых, их легко можно сделать меньше. Если верить участникам проекта, нормы техпроцесса можно будет уменьшить на порядок по сравнению с теми, что освоены сегодня. Применив разработку в оптических носителях, можно увеличить их объем в 10-100 раз.
Важно, что новая технология чрезвычайно дешева по сравнению с существующими. Внедрение в производство, по оценке ученых, может начаться в срок от трех до пяти лет.
Источник: DailyTech